•阶梯式测量,还原接触测量真实结果； •直线电机高精度龙门运动机构； •兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量；•气浮龙门平台确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性； •兼可达大360mm陶瓷盘(5-7pcs样品)； •晶圆的测量厚度范围为5um-1mm； •抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架； •含视觉自动定位系统； •可自...