光谱共焦位移传感器

• ￭高分辨率，可达纳米级
• ￭高精度，可达16纳米
• ￭同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区
• ￭可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面
• ￭物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体
• ￭可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度

蜜蜂眼睛表面微观形貌检测

光谱共焦位移传感器原理介绍

      一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。