白光干涉测量用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度高的测量仪器之一。

高精度高性价的线激光位移传感器操作简单易懂 出厂时已作标定，用户开箱即用。重新定义3D视觉，让3D相机的使用和2D相机一样简单明了，方便快捷。算法系统强大 一体式3D智能激光传感器，依托自主研发的强大算法，不仅可以实现多路数据拼接，更具备与3D算法平台对接，实现入工智能技术的三维处...

非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度很好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。