激光干涉仪的一些运用测量

激光干涉仪：

以太网Web界面(工业4.0)
多种传感头可按客户需求定制
3轴:测量不稳定的俯仰pitch和偏航运动yaw
紧凑，测头直径小,易于设备集成
实时通讯接口：HSSL,AquadB和Sin/Cos
动态(增益和偏移)重新调整
传感器头适用于极端环境:
低温和高温(最高450℃)，UHV兼容性强幅射(高达10MGy)和高磁场
线性模拟振动测量数据输出(实时输出)
点对点配置中的BISS-C口→硬件升级

案例展示：