高精度运动平台——直线电机

直线电机平台 | LINEAR MOTOR STAGE 

非接触式直驱电机，超高精度且拥有非常优秀的动态性能 。无铁芯电机，速度波动低于千分之一（结合指定类型驱动器，实验室环境测试数据）。 静音防蠕动导轨，可确保微小步距控制 。使用寿命超长，长时间免维护使用。

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MMS50-X20 系列

MMS50-X20系列采用了特殊定制的音圈电机，结合高分辨率光栅和精密交叉滚柱导轨，在迷你的体积小同样具备UMS系列一样的高精度以及高动态。特别适合一些对体积非常敏感的应用场景。

外形尺寸

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MMS50-X20 系列

LMT-MINIXY系列具有极为紧凑的外形尺寸及优秀的动态性能，特别适合一些对空间尺寸敏感， 同时又希望有较大行程及较高精度的应用场景。

外形尺寸

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LMS250GT-X 系列

LMS250GT-X直线电机平台采用优质花岗岩作为底座，配合高刚性直线滚柱导轨及有铁芯直线电机，拥有非常出色的平面度直线度及负载能力，一般作为大型移动定位设备的基础模组。

外形尺寸

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LMS180SCT-X 系列

LMS180SCT-X系列直线电机平台经过专门的优化设计，厚度仅为55mm，轻薄的设计特别适用于高速轻载的应用，高达5G最大加速度使得LMS180SCT-X系列拥有非常理想的动态特性。

外形尺寸

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LMS165FC-X 系列

LMS165FC-X系列属于适用范围最广的直线电机平台，全封闭一体式机构，结合最新的自润滑导轨技术，可实现在长达5年以上的免维护连续使用。该系列全系列采用无铁芯电机驱动，拥有十分优异的速度及动态性能，该产品同时也以其出色的精度及非线性误差而闻名。 

外形尺寸

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UMS130-X 系列

UMS130-X系列采用了高精度带防蠕动功能的交叉滚柱导轨，配合直线电机及高分辨光栅尺，具有体积小、负载大、噪音低等优点。防蠕动的交叉滚柱导轨特别适合需要微步距行走的应用，配合高性能的驱动控制系统，可以稳定走出10nm的步长，这是普通直线导轨直线电机平台较难保证的 重要性能。因此UMS130-X系列特别适合用在高精度定位、检测、曝光以及微加工的应用场景。

外形尺寸

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