快速非接触厚度测量设备

提供薄片厚度测量解决方案

◆   使用高精度直线电机运动机构

◆   搭配各种位移传感器对射测量

◆   最大扫描速度600mm/s

◆   测量精度0.5um

◆   可实现自动化需求测量

广泛用在晶圆、陶瓷片、金属片、玻璃等薄片厚度测量用于后厚度、翘曲度、平面度，高度差等测量。