光谱共焦干涉测量原理

干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。
它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。 发达系统的独创性在于将参考板固定在检测目标上。 由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。
此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。 最小可测厚度为0.4μm。