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非接触式晶圆粗糙度测量系统

•阶梯式测量,还原接触测量真实结果；
•直线电机高精度龙门运动机构；
•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量；

•气浮龙门平台确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性；

•兼可达大360mm陶瓷盘(5-7pcs样品)；
•晶圆的测量厚度范围为5um-1mm；
•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架；
•含视觉自动定位系统；
•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式；
•直观简单的2D或3D数据呈现方式；
•样品盘顶出机构，兼容机器人上下料动作。

•阶梯式测量,还原接触测量真实结果
•直线电机高精度龙门运动机构
•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量
•气浮龙门平台确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性
•兼容可达360mm陶瓷盘(5-7pcs样品)
•晶圆的测量厚度范围为5um-1mm
•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架
•含视觉自动定位系统
•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式
•直观简单的2D或3D数据呈现方式
•样品盘顶出机构，兼容机器人上下料动作

气浮轴承是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度很好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

我司使用的为特殊设计加工的预压式气浮轴承，具有高刚性、高平面度、免维护、使用寿命长等特点，可确保设备24小时连续工作无异常，设备使用寿命可以达到10年。